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SNO2氧化物薄膜气体微光电开关传感器
 
更新时间:2014.11.17 浏览次数:
 

  和MEMS工艺制作的可控制温度的电导敏感元件。如在中央部位表面利用纳米材料制作气体敏感薄膜,则该元件即成为气体微传感器的基础元件,可用于摧各种类型的气体微传感器以及微传感器陈列。这种微光电开关传感器的优势在于体积小,功耗低、可批量生产,随之而来的问题则在于硅基底材料的立体加工工艺、元件的可靠性以及元件与敏感材料之间的兼容性等。

  利用上述元件制作 的一种SNO2氧化物薄膜气体微传感器的结构。SNO2氧化物薄膜对气体的敏感特性是与温度有关的,主要原因在于气体分子在表面的吸/脱附过程、气体分子在表面的吸附量、反应速度等均与温度有关。

  此外,温度还会引起微结构的尺寸变化。因此,这种SNO2氧化物薄膜结合可控温元件的微传感器比起传统形式的SNO2氧化物薄膜气体微传感器有明显的优势。

  温度控制在元件特性方面的作用在元件的制作 方面,需要考虑的因素主要有加温元件的益以及表面薄膜制作时微结构的控制。温度的变化导致元件对各种气体成分的敏感特性改变,因此可爱过对元件工作温度的控制,调节敏感元件的气体敏感特性。为集成有九个敏感元件的器件,所以热惯性小,温度变化率比较高。

  需要注意的是,这种敏感元件的加热器是采用脉冲式电流进行加热的。

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